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轮毂镀膜与您分享电子束蒸发
电子束蒸发是将镀膜材料放入水冷铜坩埚中,用高能密度的电子束轰击镀膜材料而使其蒸发的一种方法。蒸发源由电子发射源、电子加速电源、坩埚(通常是铜坩埚)磁场线圈、冷却水套等组成。在该装置中,轮毂镀膜,被加热的物质放置于水冷的坩埚中,电子束只轰击其中很少的一部分物质,其余的大部分物质在坩埚的冷却作用下一直处于很低的温度,轮毂镀膜喷漆,可以看作被击部分的坩埚。因此,电子束加热蒸发的方法可以避免镀膜材料和蒸发源材料之间的污染。
电子束蒸发源的结构形式可以分为直式(布尔斯)、环形(电偏转)和e形(磁偏转)3种。在一个蒸发装置内可以安置一个或者多个坩埚,这可以同时或者分别蒸发沉积多种不同物质。电子束蒸发源有下述优点:
1、电子束轰击蒸发源的束流密度高,能获得远比电阻加热源的能量密度,可以蒸发高熔点材料,轮毂电镀膜,如w,mo,a1203等:
2、镀膜材料置于水冷铜坩埚中,可以避免发源 材料的蒸发,以及两者之间的反应;
3、热量可以直接加到镀膜材料的表面,使得热,热传导和热辐射的损失少.电子束加热蒸发方式的缺点是电子发出的一次电子和镀膜材料表面发出的二次电子会使蒸发原子和残余气体分子电离,这有时候会影响膜层。
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轮毂镀膜与您分享如果生产过程中的真空度不够,表面上沾了灰尘或油滴之后会出现---的后果。集成电路中细线的宽度是---时吐出的烟雾颗粒直径的1/3,是一粒灰尘直径的近万分之一。对集成电路而言,哪怕落有一颗烟雾的颗粒,轮毂镀膜设备,就好像大路上停了一架大型飞机一样,使电子无法通过或造成短路。
新材料开发离不开真空。
以分子束外延为代表的薄膜生长技术是新材料开发的重要手段,薄膜材料放到蒸发源中之后被蒸发或升华,在高真空环境中,薄膜材料的原子或分子可以长距离飞行,到达衬底成膜;而且由于残留气体少,衬底表面形成的薄膜纯度高。
表面科学领域对真空度的要求高。
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