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pvd镀膜机与您分享当前国内薄膜技术研究的主要---
近年来纳米超硬膜技术已成为涂层领域研究开发的---,自2000年以来在国内已进入持续开发阶段。超硬膜定义为硬度大于40gpa,众所周知,金刚石、立方氮化硼、非晶态类金刚石等具有超硬膜的本征硬度,真空pvd镀膜机,其研究及应用已经历了较长时间,但其膜系本身的某些特性却制约了应用领域的拓展。如金刚石薄膜并不适合于铁基材料的切削加工,而立方氮化硼薄膜由于难于与刀具基体结合、易剥落,且高纯度的c-bn制备困难,也尚未达到商业应用水平。因此近年来薄膜技术的开发---更多的集中于非本征超硬膜的研究。非本征硬度超硬薄膜的超硬性和力学性能主要来自于它们组成物的性质和超细显微结构,其组成物多为氧化物、碳化物、氮化物及硼化物,而其显微结构达到了纳米数量级。
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pvd镀膜机与您分享高频感应加热蒸发
高频感应加热蒸发是将装有镀膜材料的坩埚放置在高频螺旋线圈的中央,使镀膜材料在高频电磁场的感应下产生---的涡流电流和磁滞效应,致使膜层升温,直至气化蒸发。蒸发源一般有水冷高频线圈和石墨或者陶瓷(氧---、氧化铝、氧化硼等)坩埚组成。高频电源采用的频率为1万至几十万赫兹,输入功率为几至几百千瓦,膜材体积越小,感应频率越高。感应线圈频率通常用水冷铜管制造。高频感应加热蒸发方法的缺点是不易对输入功率进行微调,它有下述优点:
1、蒸发速率大:
2、蒸发源温度均匀稳定,不易产生镀料液滴飞溅的现象,也可以避免沉积在薄膜上产生现象:
3、蒸发源一次装料,温度控制比较容易,操作简单。
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pvd镀膜机与您分享电阻加热蒸发
电阻加热蒸发电阻加热蒸发方式是简单也常用加热方法,一般适用于熔点低于1500℃的镀膜材料,通常将线状或片状的高熔点金属(w、mo、ti、ta、氨化硼等)做成适当形状的蒸发源,pvd镀膜机厂,装上蒸镀材料,通过电流的焦耳热使镀料熔化、蒸发或者升华,蒸发源的形状主要有多股线螺旋形、u形、正弦波形、薄板形、舟形、圆锥筐形等。同时,塑料pvd镀膜机,该方法要求蒸发源材料具有熔点高:饱和蒸气压低:化学性能稳定,在高温下不应与镀膜材料发生化学反应:具有---的耐热性,功率密度变化小等特点,合肥pvd镀膜机,采用大电流通过蒸发源使之---,对膜材直接加热蒸发,或把膜材放入石墨及某些耐高温的金属氧化物(如a202,bo)等材料制成的坩埚中进行间接加热蒸发。
电阻加热蒸发镀膜具有局限性:难熔金属具有低的蒸气压,难以制成薄膜:有此元素容易和加热丝形成合金:不易得到成分均匀的合金膜。由于电阻加热蒸发方式结构简单、价格低廉、易于操作,因而是一种应用很普遍的蒸发方式。
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