







真空手套箱用磁控溅射离子镀技术为黄铜电镀亮铬的卫生洁具镀制zrn膜。真空手套箱设备采用基材为锆的非平衡磁控溅射靶和中频电源,以及脉冲偏压电源。
(1)抽真空
5 x 10-3~6.6 x 10-13pa本底真空。真空手套箱设备加热温度应在真空室器壁放气后又回升到100~150℃。
(2)轰击清洗
真空度:通---真空度保持在2~3pa。轰击电压:800~1000v,脉冲占空比20%。轰击时间:10min。
(3)手套箱
沉积锆底层
真空度:通入气,真空度保持在s x l0-1pa。靶电压:400—550v,靶功率15 n 30w/crrr2。脉冲偏压:450~500v,占空比20 %。手套箱时间:5~10min。
镀zrn膜
真空度:通入氮气,真空度保持在(3~5) x 10-1pa。靶电压:400~550v,靶电流随靶的面积增大而加大。脉冲偏压:150~200v,pvd真空镀膜公司,占空比80 %。手套箱时间:20~30min。
由于真空手套箱磁控溅射技术中金属离化率低,不容易进行反应沉积,获得化合物膜层的工艺范围比较窄。真空手套箱设备可采用气体离子源将反应气体离化,扩大反应沉积的工艺范围。也可以采用柱状弧源产生的弧等离子体作为离化源,柱状弧源还是辅助手套箱源。


金百辰智能科技(浙江)有限公司从事汽车零部件、家电类、机械配件等塑胶成型与pvd镀膜工艺加工。
pvd真空镀膜与您分享真空蒸镀工艺实例 以塑料金属化为例,真空蒸镀工艺包括:镀前处理、镀膜及后处理。
真空蒸镀的基本工艺过程如下:
(1)镀前处理,包括清洗镀件和预处理。具体清洗方法有清洗剂清洗、化学溶剂清洗、超声波清洗和离子轰击清洗等。具体预处理有除静电,涂底漆等。
(2)装炉,包括真空室清理及镀件挂具的清洗,蒸发源安装、调试、镀件褂卡。
(3)抽真空,pvd真空镀膜原理,一般先粗抽至6.6pa以上,更早打开扩散泵的前级维持真空泵,加热扩散泵,待预热足够后,打开高阀,用扩散泵抽至6×10-3pa半底真空度。
(4)烘烤,将镀件烘烤加热到所需温度。
(5)离子轰击,真空度一般在10pa~10-1pa,离子轰击电压200v~1kv负高压,离击时间为5min~30min,
(6)预熔,调整电流使镀料预熔,除气1min~2min。
(7)蒸发沉积,根据要求调整蒸发电流,直到所需沉积时间结束。
(8)冷却,镀件在真空室内冷却到一定温度。
(9)出炉,.取件后,关闭真空室,抽真空至l × l0-1pa,扩散泵冷却到允许温度,pvd真空镀膜技术,才可关闭维持泵和冷却水。
(10)后处理,pvd真空镀膜,涂面漆。
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清洁时,请注意不要使用粗糙或尖锐的材料擦拭产品表面,尤其是镜面处理的产品。请使用不易---的柔软---绒布。沿线擦拭沙钢和拉丝表面,否则很容易得到刮花。
如果表面有灰尘且污垢易于清除,可以用绒布和清水清洗;对于粘合剂组分,使用酒精或和---擦洗。
表面被油脂,机油和润滑油污染。用---绒布清洁后,请使用中性清洁剂,---或清洁剂进行清洁。
如果表面被漂白剂或酸粘附,请立即用水冲洗,然后浸入或中性碳酸钠溶液中,并用中性清洁剂或温水洗涤。
表面有彩虹纹,这是由于过度使用清洁剂引起的
禁止使用含有漂白成分和磨料的洗涤液,钢丝球,研磨工具等进行清洁。为避免残留的洗涤液和腐蚀表面,洗涤结束时应用清水洗涤表面。
禁止将产品与强酸接触。和碱性化学品。
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